光纤MEMS加速度传感器

         BA-MA系列光纤MEMS加速度传感器是一种单分向的宽频带加速度传感器，是建立在微米/纳米技术基础上的21世纪前沿技术，它将加速度检测质量块、弹性支撑体、光学反射微镜、光入射及出射波导直接集成在一个微小的芯片上，真正实现了对加速度信号的全光检测，具有探头和传输线路不供电、抗电磁干扰、动态范围大、体积小巧、远距离光信号传输等诸多优点。